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常温下氮气难以与氧气反应，但在放电或者高温的条件下，可以与氧气反应：N2+O2=2NO。闪电能够使空气里的氮气转化为一氧化氮，是一种自然固氮。氮气在加热条件下可以与金属发生反应，以镁为例：N2+Mg→Mg3N2（反应条件为加热）。

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所以，将其归入氮气含量中是完全没有问题的。但其他的像碳氢化合物、硅氧烷类、邻苯二甲酸酯类、灰尘、溶剂、清洁用化学品（例如地板清洁材料等）等都会污染离子源，并出现在质谱图上。

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在氮气发生器的正常使用情况下，每只程控阀门在每一个周期必须开关一次，按产品每年300个工作日计算，瓶装氮气厂批发，每天24小时连续动行，吸附与解吸周期为4分钟计，那么每只阀门每年需要开、关20多万次。而只要其中一只阀门出现故障都会影响整台设备正常。

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